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产品中文名称：八氟环丁烷
产品英文名称：Octafluorocyclobutane
CAS号：115-25-3
产品介绍：八氟环丁烷，是一种有机化合物，化学式为C4F8，常用作食品气雾喷射剂、介质气体。它是一种无色无臭、非易燃的气体，易液化。它极稳定，在正常条件下不与其它物质反应，在高温(600℃)时会分解。八氟环丁烷是无毒气体，在半导体制程中,八氟环丁烷被用作二氧化硅和硅层的等离子蚀刻气体。