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产品展示
产品中文名称:一氟甲烷
产品英文名称:Fluoromethane
CAS号:593-53-3
产品介绍:是一种有机化合物,分子式为CH3F,为无色气体,在半导体工业中可作为氮化膜的刻蚀气体,用于3D NAND闪存芯片的制造过程。