产品中文名称：六氟化硫
产品英文名称：Sulfur hexafluoride
CAS号：2551-62-4
产品介绍：六氟化硫（化学式为SF6）常态下是一种无色、无味、无毒、无嗅的非燃烧性气体。作为一种电子气体，六氟化硫具有良好的化学稳定性、耐腐蚀性、电绝缘性以及耐热性，在半导体、电力设备、航空航天、半导体制造、金属加工、医疗等领域应用广泛。近年来，随着大规模集成电路技术提升，市场对电子气体纯度、质量等要求越来越高，电子级六氟化硫可作为氟源、蚀刻气体等应用在半导体、面板显示器件等大规模集成电路的蚀刻和清洗过程中。