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产品中文名称:四氟化硅
产品英文名称:Silicon tetrafluoride
CAS号:7783-61-1
产品介绍:四氟化硅,是一种无机化合物,分子式为SiF4,分子结构是Si原子以sp3杂化轨道形成σ键,分子形状为正四面体形,主要用于氟硅酸及氟化铅的制取,在半导体、集成电路领域,高纯四氟化硅可用于等离子刻蚀、硅外延生长、非晶硅薄膜生成、化学气相沉积等方面。