产品中文名称：六氟化钨
产品英文名称：Tungsten hexafluoride
CAS号：7783-82-6
产品介绍：六氟化钨，是一种无机化合物，化学式为WF6，六氟化钨（WF6）是能稳定存在的钨的氟化物，具有极强的腐蚀性，可根据外界环境的变化表现出灵活的物化性能，被广泛应用于工业生产的各个领域。六氟化钨在电子工业中主要作为集成电路的配线材料使用，其在经过化学气相沉积工艺后可形成金属钨导体膜，钨导体膜在集成电子学中通常被用作高传导性的互连金属、金属层间的通孔和垂直接触的接触孔以及铝和硅间的隔离层，因此被广泛应用于半导体集成领域。