产品中文名称:硅烷
产品英文名称:Silane
CAS号:7803-62-5
产品介绍:硅烷,分子式为SiH4,即硅与氢的化合物。甲硅烷为常见的,有时也将甲硅烷简称为硅烷。在常温下稳定,加热至400℃时完全分解为硅和氢。易燃、易爆,在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧。与CC14及金属卤化物发生反应。在水中缓慢分解,几乎不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿及四氯化碳等。是半导体工业中单晶硅、多晶硅外延片以及二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等化学气相沉积工艺的硅源,并广泛用于太阳能电池、硅复印机鼓、光电传感器、光导纤维及特种玻璃等的生产研制。