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产品中文名称：三氯硅烷
产品英文名称：trichlorosilane; Silicochloroform
CAS号：10025-78-2
产品介绍：三氯硅烷是一种无机化合物，化学式为SiHCl3。为无色液体，溶于苯、乙醚、庚烷等多数有机溶剂，三氯氢硅主要用作硅外延生长和大规模集成电路的硅源。