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产品中文名称：三氟化氯
产品英文名称：chlorine trifluoride
CAS号：7990-91-2
产品介绍：三氟化氯，是一种无机化合物，化学式为ClF3，主要用作氟化剂、燃烧剂、推进剂中的氧化剂、高温金属的切割油。在半导体工业中，三氟化氯被用于清洁化学气相沉积的反应腔体。