PRODUCTS
产品展示
产品中文名称：羰基氟
产品英文名称：Carbonic difluoride
CAS号：353-50-4
产品介绍：碳酰氟，又名羰基氟、氟光气，是一种化学物质，化学式为COF2，主要用作半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，也可用作有机合成的中间体、氟化剂，作为半导体制造装置用的清洗气需要高纯度的COF2