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产品中文名称:氧硫化碳
产品英文名称:Carbonyl sulfide
CAS号:463-58-1
产品介绍:硫化羰,又名氧硫化碳、羰基硫,是一种无机化合物,化学式为COS,常温常压下为无色有臭鸡蛋气味的气体,微溶于水,能迅速溶于醇、甲苯和碱,是一个结构上与二硫化碳和二氧化硫类似的无机碳化合物,高纯硫化羰可用于干法蚀刻工艺中,蚀刻效果优秀,近年来在半导体产业中需求量不断增大,未来更具市场潜力。