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产品中文名称：乙硼烷
产品英文名称：diborane
CAS号：19287-45-7
产品介绍：乙硼烷是一种无机化合物，化学式为B2H6，有剧毒 ，常温下为无色气体，用作火箭和导弹的高能燃料，也用于有机合成，乙硼烷是半导体制造中用作硅材料的p型掺杂源，在半导体工业中得到广泛应用，用于半导体生产，硅和锗的外延生长、钝化、扩散和离子注入，随着大规模集成电路集成度的提高，对B2H6纯度的要求也越来越高。