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产品名称：准分子激光气体（Excimer Laser Gases)
氟化氩ArF激光气体（193nm）；氟化氪KrF激光气体（248nm）；氯化氙XeCl激光气体（308nm）
产品类型： ArF，KrF，XeCl，5%F2/He, Kr/Ne,F2/Kr/Ne,Ar/Ne,F2/Ar/Ne